晶圆级高密度存储器多场可靠性测试系统

晶圆级**度存储器多场可靠性测试系统，一套。具备业内领先的电学测试能力与多场耦合表征功能，能够覆盖新型非易失存储器件及**度存储电路的关键性能测试需求。支持动态/静态滞回、疲劳、保持特性电容 - 电压测试硬件要求。（1）支持125MHz时钟频率，250Mbps数据速率，电压范围-1.4V~ 6.5V，最小脉宽10ns，上升沿/可达4ns；（2）128数字通道，160PPMU通道，20DPS集成40Gbps通信总线；（3） 模拟高压模块，32个通道，每通道电压范围可达50 V。电流测量精度1nA，最大驱动能力500mA。（4）铁电测试模块，电滞回线测试频率0.01Hz~1MHz@±12V，0.01Hz~100kHz@±30V，疲劳测试频率范围覆盖1 Hz ~ 16 MHz， 输出与测量电流范围达10 pA ~ 1 A。供货周期：合同签订后4个月，质保2年。