缺陷检测设备（低精度）采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****点击查看

（二）项目名称： 缺陷检测设备（低精度）

（三）项目内容及需求：

1、数量： 1台

2、交期：90天

3、技术要求：

（1）8寸硅基Bare wafer 和Pattern wafer缺陷检测

（2）同时具备明场和暗场两种检测模式

（3）明场最小检测精度≤0.5um，最小精度检查时WPH≥10

（4）同时具备2X，5X，10X或20X三个检测相机和50X彩色面阵review相机

（5）使用明场模式检测时，检测的缺陷图片可自动保存，可自动review

（6）具备缺陷自动分类功能，叠图功能，Region功能，cluster功能，具备实时自动聚焦系统

（7）支持Wafer less Recipe编辑，且准确率≥90%

（8）两台缺陷检测机台的Recipe可以相互复制，使用。且在Recipe设定完全一致时，两台缺陷检测机台的检测结果差异≤5%

（9）缺陷捕获率≥95%，漏检率≤3%，缺陷检测重复性≥95%，缺陷分类准确性≥95%

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****点击查看.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****点击查看.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商（从事行业经验不少于3年），代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），注册资金≥100万；

2、本次招标不接受联合体投标。

三、供应商资料递交截止时间和地点

（一）截止时间：2025-5-23 17:30

（二）递交方式：请报名供应商将营业执照、质量体系证书、厂家授权书（代理厂商适用）、2年内同类设备销售清单（提供至少两份合同）以上资料电子版在报名截止时间前发送至邮箱****点击查看@guide-infrared.com，并抄送至审计邮箱****点击查看@guide-infrared.com。****点击查看公司名称及项目名称。

四、联系事项

商务联系人： 彭芷君 电话：027-****点击查看8312

技术联系人： 罗学强 电话：131****点击查看1302

电话：027-****点击查看8317

邮箱：****点击查看@guide-infrared.com

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