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历史招中标信息35537条
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| BXX曝光检测套刻对准装置 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | BXX曝光检测套刻对准装置 |
| 预算金额： | 520.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | BXX光刻胶曝光检测装置，一套。用于实现光刻胶的干涉曝光。光学滤波波长：13.5nm；真空度不低于1E-2Pa；掩膜-样品最小工作距离不大于10μm；焦深不大于100nm；样品台xy向定位抖动不高于3nm（rms@1s）；样品台xy向定位漂移不高于3nm（1min）；样品台最小步进10nm。供货周期：合同签订后12个月，质保2年。 |
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
基本情况
上次中标企业: 上海****公司
潜在竞争对手: 共
315
个, 其中与甲方合作关系紧密的
18 家
