宁波东方理工大学(暂名)及宁波市东方理工高等研究院
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等离子表面处理仪 | 1.0/ | 110000.0 | Diener | ATTO | [{"key":1,"value":"1.控制系统\na.手动\nb.真空和发生器互锁功能 \nc.跟据工艺需求不同,可设定功率、压强、气体流量等参数\n2.工艺气路:\na.2个浮球流量计(可通多种工艺气体O2、Ar等非腐蚀性气体)\nb.量程分别为0-20sccm\nc.1路破真空进气气路\n3.压力控制:\na.配有指针式压力计,实时显示工艺舱的压力值\nb.压力表量程0.01-9.99mbar\n4.发生器:\na.频率40KHz,功率0~200W连续可调\nb.自动电阻阻抗匹配\nc.具有电流过载保护功能\n5.反应腔:\na.圆柱形高硼硅玻璃材料,厚度不小于6mm\nb.腔体尺寸:Dia211xD300mm\nc.容积:10.5L\nd.铰链门带观察窗\n6.双油式真空泵,排气速度8m3/H,极限真空度0.5Pa\n7.外尺寸:W425mmxD450mmxH275mm(含电源线突出部分)\n8.电源电压:单相AC220V 10A\n9.配备慢进气装置\n10.电极外置,360°环绕电极,上下各一层","important":true}] | 1.质保期1年 | 附件: |
等离子表面处理仪 | 1.0/ | 110000.0 | GmbH | Plasmalution M | [{"key":1,"value":"1.控制系统\na.手动\nb.真空和发生器互锁功能 \nc.跟据工艺需求不同,可设定功率、压强、气体流量等参数\n2.工艺气路:\na.2个浮球流量计(可通多种工艺气体O2、Ar等非腐蚀性气体)\nb.量程分别为0-20sccm\nc.1路破真空进气气路\n3.压力控制:\na.配有指针式压力计,实时显示工艺舱的压力值\nb.压力表量程0.01-9.99mbar\n4.发生器:\na.频率40KHz,功率0~200W连续可调\nb.自动电阻阻抗匹配\nc.具有电流过载保护功能\n5.反应腔:\na.圆柱形高硼硅玻璃材料,厚度不小于6mm\nb.腔体尺寸:Dia211xD300mm\nc.容积:10.5L\nd.铰链门带观察窗\n6.双油式真空泵,排气速度8m3/H,极限真空度0.5Pa\n7.外尺寸:W425mmxD450mmxH275mm(含电源线突出部分)\n8.电源电压:单相AC220V 10A\n9.配备慢进气装置\n10.电极外置,360°环绕电极,上下各一层","important":true}] | 1.质保期1年 | 附件: |
等离子表面处理仪 | 1.0/ | 110000.0 | YAMATO | PR500 | [{"key":1,"value":"1.控制系统\na.手动\nb.真空和发生器互锁功能 \nc.跟据工艺需求不同,可设定功率、压强、气体流量等参数\n2.工艺气路:\na.2个浮球流量计(可通多种工艺气体O2、Ar等非腐蚀性气体)\nb.量程分别为0-20sccm\nc.1路破真空进气气路\n3.压力控制:\na.配有指针式压力计,实时显示工艺舱的压力值\nb.压力表量程0.01-9.99mbar\n4.发生器:\na.频率40KHz,功率0~200W连续可调\nb.自动电阻阻抗匹配\nc.具有电流过载保护功能\n5.反应腔:\na.圆柱形高硼硅玻璃材料,厚度不小于6mm\nb.腔体尺寸:Dia211xD300mm\nc.容积:10.5L\nd.铰链门带观察窗\n6.双油式真空泵,排气速度8m3/H,极限真空度0.5Pa\n7.外尺寸:W425mmxD450mmxH275mm(含电源线突出部分)\n8.电源电压:单相AC220V 10A\n9.配备慢进气装置\n10.电极外置,360°环绕电极,上下各一层","important":true}] | 1.质保期1年 | 附件: |