科大国盾量子技术股份有限公司低温测试设备采购项目澄清公告

各潜在投标人：

现就****点击查看低温测试设备采购项目（项目编号：****点击查看）澄清如下：

考虑到低温测试设备的散热需求和真空度需求，需对低温测试设备配备水冷机和分组泵机组，具体指标说明如下：

水冷机

1、冷却方式：设备应配备闭循环水冷机，除定期维护外，无需额外添加纯水。

2、制冷量：水冷机需满足氦气压缩机的最大散热需求。

3、稳定运行：水冷机应具备水温、水压检测等功能，超温、缺水等异常报警功能，能够满足≥24h以上稳定运行。

4、为保证能够满足设备交期，建议水冷机优先选用国产设备。

分子泵机组

1、机组组成：设备分子泵机组应采用无油干泵和涡轮分子泵组合。

2、极限真空度：分子泵组的极限真空度≤10-5Pa，并配备真空计、实时显示、记录真空度。

3、安全保护：分子泵组具备真空异常报警、前级泵与低于分子泵启动联锁（分子泵未达到启动真空度时无法启动）。

4、为保证能够满足设备交期，建议分子泵机组优先选用国产设备。

此公告内容视同招标文件的重要组成部分，与招标文件具有同等法律效力。

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2026年10月19日