上海芯源创新中心寻源公告(2026年7月14日)招标预告

序号

设备名称

项目概况

基本资质要求

联系方式

1

掺杂效果检查显微镜

1.1 项目名称：掺杂效果检查显微镜
1.2 寻源需求内容：主要用于对离子注入等掺杂工艺后的晶圆进行无损检测和评估。
1.3 开始时间：2026/07/14
1.4 截止时间：2026/07/27
1.5 寻源单位：****点击查看

1.供应商应为独立法人或其他组织，境内供应商人应提供营业执照或法人证书；
2.本项目不接受联合体；
3.供应商如中选，须按照技术协议订立书面合同，不得增加其他不合理条款或对采购人的额外要求；
5.供应商及所投货物的制造商近一年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉。
为了证明供应商满足上述资格要求，供应商应按要求提交证明文件。

寻源技术人员联系方式：****点击查看@shhxinyuan.cn
公告答疑人员联系方式：****点击查看@shhxinyuan.cn

2

镀膜真空检漏仪

1.1 项目名称：镀膜真空检漏仪
1.2 寻源需求内容：主要用于精确检测工艺腔室和气体输送系统的微小泄漏，以确保工艺真空度和气体纯净度，保障薄膜沉积质量。
1.3 开始时间：2026/07/14
1.4 截止时间：2026/07/27
1.5 寻源单位：****点击查看

1.供应商应为独立法人或其他组织，境内供应商人应提供营业执照或法人证书；
2.本项目不接受联合体；
3.供应商如中选，须按照技术协议订立书面合同，不得增加其他不合理条款或对采购人的额外要求；
5.供应商及所投货物的制造商近一年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉。
为了证明供应商满足上述资格要求，供应商应按要求提交证明文件。

寻源技术人员联系方式：****点击查看@shhxinyuan.cn
公告答疑人员联系方式：****点击查看@shhxinyuan.cn