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****点击查看精密测量仪器原理验证平台 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | ****点击查看精密测量仪器原理验证平台 |
预算金额: | 1507.100000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0399其他光学仪器 |
采购需求概况 : | 采购国产设备,包括晶圆缺陷检测自动对焦平台、晶圆形貌自动测量运动平台、高精度气浮旋转轴系、5轴运动检测平台、光纤双频激光干涉仪、高精度五轴气浮运动平台、全场非接触扫描三维振动测试系统、多自由度微纳位移驱动传感测试标定系统等。 |
预计采购时间: | 2025-04 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。