表面缺陷检测仪（无图形）

一、项目概况
（一）项目编号：****点击查看
（二）项目名称：表面缺陷检测仪（无图形）
（三）项目内容及需求：
1、 数量：1台
2、 交期：90日历天
3、 技术要求：
3.1 设备主要用于2英寸、4英寸、6英寸的Ⅲ-Ⅴ族化合物衬底加工后表面缺陷检测；
3.2 缺陷检测覆盖类型划痕、颗粒、粗糙、痕迹、裂纹、边缘崩裂、孪晶线、位错环等；测量精度≤1μm；缺陷检出率≥98%（整体）；对≥0.5μm的颗粒和划痕检出率≥99%；
3.3 检测速度，2寸UPH≥15,4寸UPH≥7
3.4 标配微分干涉对比（DIC）成像模式，可集成明场（BF）、暗场（DF）等多通道光学系统
3.5 基于AI/深度学习的缺陷自动识别、提取与分类功能；具备自动缺陷识别与分类（ADC）功能；具备晶圆良率测算功能
3.6 全片检测，支持晶圆表面100%区域扫描检测，包含边缘区域；支持晶圆ID读取（正面/背面）
3.7 基于AI/深度学习的缺陷自动识别、提取与分类功能；具备自动缺陷识别与分类（ADC）功能；具备晶圆良率测算功能
3.8 支持FOUP、FOSB、Open Cassette等多种卡匣类型；检测完成后自动下料
3.9 设备不允许有远程锁机和软件程序锁机功能
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。
7、未被列入“信用中国”网站(www.****点击查看.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****点击查看.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。
（二）特定资格要求：
1、参与企业必须为设备的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。
2、投标人应具备独立的法人资格，具有国家相关部门颁发的营业执照，注册金额≥100万元人民币；
3、投标人从事行业经验不少于3年；投标人近三年内应具有同类产品销售业绩，至少提供3份合同证明；
4、投标人如是生产厂家需提供有效质量体系证书；
5、投标人授权报名代表仅限一人，若出现多人报名则取消投标人投标资格；
6、投标人报名资料中应有法人授权委托书，并注明授权代表及其联系方式(电话号码和邮箱)；
7、本次招标不接受联合体投标；
8、投标人报名成功后无故缺席招投标活动的:1年内不得参与我司的采购招标项目，并做不诚信记录。
三、供应商资料递交截止时间和地点
（一）公众号二维码报名截止时间：2026-9-29 17:30。
（二）报名方式：扫描下方二维码登记报名后将报名资料盖章扫描发送以下邮箱:
****点击查看@gst-ir.com，并抄送至审计邮箱****点击查看@gst-ir.com
温馨提醒:扫描二维码注册成功不等于报名，需根据公示要求所需的报名资料(营业执照、质量体系证书、业绩清单、业绩合同、授权委托书、“信用中国”查询无不良记录截图)，盖章扫描发送指至指定的邮箱。
(三)报名截止后，将统一向资格审查后满足要求的报名单位发送招标文件。
四、联系事项
商务联系人：谭进 电话：181****点击查看9378
技术联系人：吴未 电话：185****点击查看5958
五、监督、投诉渠道
1、审计监察部：
邮箱：****点击查看@gst-ir.com
网络举报二维码：

2、党委办公室：
电话：027-****点击查看8226
邮箱：****点击查看@163.com
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2026年9月21日