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为便****点击查看政府采购信息，根据《****点击查看政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****点击查看2026年6月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
| 1 | ****点击查看光学微腔器件加工与测试设备采购项目 | 为支撑前沿科研探索与定制化小批量试制，本项目拟构建一套光学微腔全流程结构加工及测试表征一体化系统，旨在突破传统掩膜光刻长周期、低效率的瓶颈，基于无掩膜直写系统对光学微腔图案化的高精度(≤1μm)闭环微纳工艺，高精度薄膜沉积及器件刻蚀设备，打通针对光学微腔的微米尺寸图形化结构制备从设计到原型验证的快速闭环。该系统兼顾精度、灵活性与可扩展性，能够显著提升光电器件的原型验证效率，拟采购无需物理掩膜的紫外图形化系统1套、电子束蒸发沉积系统1套，干法刻蚀系统1套。 | 180 | 2026年07月 | 不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，****点击查看政府采购目标实现的情形 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
****点击查看
2026年06月15日
基本情况
上次中标企业: 合肥****公司
潜在竞争对手: 共
157
个, 其中与甲方合作关系紧密的
6 家
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