CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）招标公告

1.招标条件

本招标项目CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）,招标人为****点击查看，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

项目概况与招标范围：CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD） 64台

招标编号：****点击查看

包名称：CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）

数量：64台

简要技术要求：1)适用于G8.6 PECVD（等离子增强型化学气相沉积）设备、薄膜刻蚀清洁过程 2)适用于SiNx、a-Si、SIO、SiON等含硅薄膜刻蚀过程 3)适用于有RF辅助、无RF辅助的薄膜刻蚀过程

3.投标人资格要求

3.1 投标人资格要求：一旦中标，投标人必须是与买方签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与买方签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）

3.2 本次招标：不接受联合体投标。

3.3 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取

4.1 获取时间：2026年06月25日00:00至2026年07月02日23:59

4.2 获取方式：中航招标网（www.****点击查看.com）

4.3 招标文件价格：3500.00元或600.00（美元） ，售后不退。

5. 投标文件的递交及开标

5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）：2026年07月16日09:30

5.2 递交方式：电子文件递交到电子招标投标交易平台

5.3 开标方式：通过电子招标投标交易平台开标

5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。

6. 联系方式

招标人：****点击查看

地址：**火炬高新区(**)产业区**西路6999号

联系人：陈彩玲（含异议受理）

联系方式：0592-****点击查看888-174

电子邮件：****点击查看@tianma.cn

招标代理机构：****点击查看

地址：**市**区慧忠路5****点击查看中心B座14层

联系人：赵溪

联系方式：010-****点击查看1564

电子邮件：****点击查看@avic.com

日期 2026-06-25