中标超4900万元！中科院半导体研究所大批半导体设备采购落地 化工仪器网

序号

货物名称

货物品牌

货物型号

货物数量
（台/套）

货物单价
（万元）

1

大面积光子晶体电子束曝光系统

Raith

VOYAGER Max

1

1455.3075

2

多元素离子注入机

烁科

定制

1

1148

3

碳化硅高温氧化炉

芯微

XW-9000i8A

1

510

4

晶圆平整度检测仪

TEST-WAY

ST-FS8000A

1

247

5

反应磁控溅射系统

元戎科技

YRSII-650

1

234

6

高分辨场发射扫描电镜

蔡司

Sigma 360

1

219.5

7

等离子体增强化学气相沉积系统

NAURA

Taurus i200PES

1

205

8

自动打线设备

众望

K790-BA

1

125

9

相位噪声分析仪

电科思仪

4141H

1

117.7

10

高温退火炉

精诚华旗

JS200-2F/NA

1

116.9

11

高温氧化炉

精诚华旗

JS200-2F/OX

1

106.9

12

多波段无源全自动测试系统

APICO

AP-SSAS-WDM-BAR-1S16

1

100

13

自动耦合设备

APICO

AP-AASS006-3X-CUSTOM

1

100

14

自动贴片设备

日月威

FL0-F3H

1

63

15

高精度光学扫描显微镜

Newport

定制

1

54.22

16

图形发生器系统

Raith

Elphy Quantum

1

50

17

双通道信号源

中星联华

定制

1

49.4

合计

17

4901.9275

来源：中国政府采购网

整理：化工仪器网