合肥工业大学超精密高性能光学零件复杂加工极端制造装备与检测设备一体化科研平台

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超精密高性能光学零件复杂加工极端制造装备与检测设备一体化科研平台，包括超精密高性能光学零件复杂加工极端制造抛光机床、波面干涉仪、气浮隔振平台、多功能镜座等相关元器件(定制款)。具备亚纳米级表面抛光、智能流体调控、大口径光学元件纳米级波面精度测量以及高精度的数据分析等功能，支撑光学元件产品从基础抛光工艺到确定性、高精度、低损伤超精密抛光以及大口径光学元件纳米级精度测量、数据处理分析的多层次教学科研任务。供货期：签订合同之日起，45个日历日。（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。