品圆表面质量检测仪等设备购置项目

品圆表面质量检测仪，1台1、可用于 6 英寸以内各种规格晶圆及其他样品的形貌和物性检测。2、三轴独立压电陶瓷平板扫描器，三轴严格正交，XY 方向扫描畸变≤1%；2.2扫描范围优于 100 μm×100 μm×10 μm；X、Y 方向噪音水平≤0.2nm 闭；Z 方向噪音水平≤0.04 nm 闭环；线性度：XY 方向≤0.02%，Z 方向≤0.08%；扫描速率优于 0.1 Hz～30 Hz；扫描角度 0～360°；图像分辨率/采样点≥8 通道同时采集，采样点优于 32×32～4096×4096；热漂移≤1nm/min；进针方式为步进电机与压电陶瓷交替下针，其中步进电机行程≥25 mm，步进精度≤50nm。3、光学辅助观察系统：探针定位摄像头光学分辨率≤1 μm，探针定位摄像头支