高真空反应腔真空规自动检测及修正系统

高真空反应腔真空规自动检测及修正系统

发布于 2026-07-07

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中国科学院微电子研究所
联系人联系人176个

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历史招中标信息历史招中标信息3566条

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本单位近五年检测类项目招标110次,合作供应商57个,潜在供应商56
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****点击查看2026年8月政府采购意向-高真空反应腔真空规自动检测及修正系统 详细情况
高真空反应腔真空规自动检测及修正系统
项目所在采购意向: ****点击查看2026年8月政府采购意向
采购单位: ****点击查看
采购项目名称: 高真空反应腔真空规自动检测及修正系统
预算金额: 300.000000万元(人民币)
采购品目:
A****点击查看0299其他元件器件参数测量仪
采购需求概况 :
a.真空系统及机组: 真空规测试范围:1E-5Pa~1E5Pa 主测试室密封漏率:≤1E-9Pa﹒m3/s 真空机组:涡轮分子泵+干泵 b.恒温箱: 恒温箱温度范围:10~55℃ 均匀性:±0.5℃ c.控制系统: 可编程控制器+智能仪表控制 工控机+高速数据采集卡,高速、高精度采集测量数据 实验数据:标准规、待测规、温度(多点)、标准规(高速)以图表形式显示数据变化趋势 d.工作条件: 电力供应:三相380V,±10% 工作温度:20℃±10℃ 相对湿度:20~70% e. 系统功能 具备设定压力自动调节功能,控制范围 1E10-4 Torr to 1000Torr,控压精度≤5% 具备检测流程预设定功能,包括量程、精度、温漂、零漂、稳定性、响应速度等功能; 具备检测数据实时记录、制图、计算功能; 具备1KHz采样速度; 具备0.1Torr~1000Torr的量程控制能力"
预计采购时间: 2026-08
备注:

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

项目情报
基本情况基本情况
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本单位近五年检测类项目共招标过 110 次; 共合作检测供应商 57
上次中标企业上次中标企业: 北京****公司
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核心业务: 检测服务, 中标 15次, 占比 100.0%
重点地区: 北京, 中标 6次, 占比 40.0%
中标业绩: 上一年中标 4 次, 中标金额 78.44
潜在竞争对手潜在竞争对手: 共 56 个, 其中与甲方合作关系紧密的 0
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上海****公司一般
核心业务: 检测服务, 中标 83 次, 占比 100.0%
重点地区: 上海, 中标 44 次, 占比 53.01%
中标业绩: 上一年中标 4 次, 中标金额 1703.22
苏州****公司一般
核心业务: 检测服务, 中标 17 次, 占比 100.0%
重点地区: 北京, 中标 5 次, 占比 29.41%
中标业绩: 上一年中标 0 次, 中标金额 0.0
华美****公司一般
核心业务: 检测服务, 中标 25 次, 占比 100.0%
重点地区: 北京, 中标 11 次, 占比 44.0%
中标业绩: 上一年中标 3 次, 中标金额 852.08