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8英寸晶圆级集成电路先进节点工艺器件自动化测试设备 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 8英寸晶圆级集成电路先进节点工艺器件自动化测试设备 |
预算金额: | 150.000000万元(人民币) |
采购品目: | |
采购需求概况 : | 用于在常温或高温下测试8英寸晶圆级集成电路先进节点工艺器件的IV、CV、高压CV等电学特性,并自动化对器件进行建模提参,自动化获得集成电路先进节点工艺器件的SPICE模型。主要技术要求:1、标准支持3000V,200A测试;2、支持IV、CV、高压CV测试扩展功能(Qg/Rg/crss/Ciss/Coss);3、On wafer 可支持高低温升级,温度范围:室温~300°C(降温方式:常温CDA);4、10个针座:其中1个高压三同轴,3个高压CV,2个大电流,2个常压三同轴,2个BNC。2年质保,供货期8个月。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。